对于高精密光学测量设备，对于安装环境有严格的要求；同时设备本身也采用了多种隔振和减震措施。

某芯片生产和检测车间，采用 1)YSV8016 振动测试仪 2)YSV202环境微振动传感器 3)YSV2303S 三轴加速度传感器 对于工作状态下某光学检测设备的振动值、隔振器的隔振效率、安装环境的振动值分别进行了检测。

最终分析得到了：

1）结构在工作时的实际振动量值；

2）光学测量设备的隔振效率和隔振曲线

3）实验室安装环境的VC振动等级曲线

图1  被测量的精密设备

图2  设备和地面接触部分安装的环境微振动传感器

图3  试验地面中间部位安装的环境微振动传感器

图4  测量仪器

图5  实验室环境满足VC-D的振动环境要求